作為半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的裝備，很多網(wǎng)友都非常關(guān)注光刻機(jī)，畢竟它是最貴的，而且決定了CPU工藝的線寬水平，目前全球先進(jìn)光刻機(jī)主要是ASML公司生產(chǎn)。

那ASML的光刻機(jī)到底值多少錢？此前我們報(bào)道過(guò)他們的EUV光刻機(jī)，一臺(tái)大概1.2億歐元，約合10億人民幣，絕對(duì)是天價(jià)了，但三星、臺(tái)積電還在搶著買。

EUV光刻機(jī)之前，ASML目前的主力其實(shí)還是DUV光刻機(jī)，使用的是193nm的深紫外光刻技術(shù)，也有多種型號(hào)，這又該值多少錢呢？

這幾天網(wǎng)絡(luò)報(bào)道了投資上千億的武漢弘芯半導(dǎo)體爛尾的消息，此前該公司規(guī)劃投資200億美元，先后建設(shè)14nm及7nm工藝生產(chǎn)線，其中使用的就是ASML公司的TWINSCAN NXT:1980Di光刻機(jī)。

這臺(tái)DUV光刻機(jī)還是全新的，它能值多少錢？現(xiàn)在因?yàn)橘Y金斷裂，這臺(tái)光刻機(jī)已經(jīng)抵押給了武漢農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司東西湖支行，抵押價(jià)格是58180.86萬(wàn)元，也就是5.82億元。

與EUV光刻機(jī)動(dòng)輒10億元的價(jià)格相比，DUV光刻機(jī)的價(jià)格大概要少四成，只有后者60%的樣子，但也是超級(jí)貴的裝備了。

雖然比不了EUV光刻機(jī)，不過(guò)TWINSCAN NXT:1980Di依然是極其先進(jìn)的，官方標(biāo)稱分辨率是38nm以內(nèi)，實(shí)際工藝可以做到10nm以內(nèi)，臺(tái)積電的第一代7nm工藝也是使用這樣的DUV光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)的。